昂图创新申请用于表征衬底和膜的装置专利，能够确定衬底和膜的厚度

金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，昂图创新有限公司申请一项名为“用于表征衬底和膜的装置”的专利，公开号CN119948311A，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，各种示例包括一种用于表征衬底和在其上形成的膜的衬底厚度和膜厚度的装置。该装置使用来自光源（例如，扫描激光器）的一个或多个波长的光来探测该衬底。该光基本上垂直地指向该衬底的上表面。偏振器和分析器元件耦接在该光源和该衬底之间。因此，该偏振器和该分析器两者位于从该光源到该衬底的光束传播路径中。光学检测器被布置成基本上垂直于该衬底的该上表面。该光学检测器接收从该衬底返回的光。该装置能够确定该衬底和包含在其上的一个或多个膜的厚度，而不管衬底是否具有光学各向异性，诸如手征特性或应力诱导膜。还公开了其他装置和方法。

本文源自：金融界

作者：情报员