先飞电子取得化学气相沉积设备用扰流防对冲结构专利，防止镀膜物质对基板的冲击

金融界 2025 年 5 月 8 日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市先飞电子防护技术有限公司取得一项名为“一种化学气相沉积设备用扰流防对冲结构”的专利，授权公告号 CN222821640U，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本实用新型属于化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积设备用扰流防对冲结构，包括沉积室和设置于沉积室内侧壁上的第一扰流板和第二扰流板，沉积室的侧壁上还设置有抽气口和进料口，第一扰流板与抽气口贯通，第二扰流板与进料口贯通，第一扰流板和第二扰流板的侧部分别设置有若干个第一开孔和第二开孔。相对于现有技术，本实用新型结构设计巧妙，通过在沉积室的内侧壁上设置分别与进料口和抽气口连通的第二扰流板和第一扰流板，使得从进料口进入沉积室内的镀膜物质能够以弥散的方式进入，防止镀膜物质对基板的冲击。而且，由于从进料口进入的热蒸汽会给沉积室增压，因此需要通过抽气保持负压。

天眼查资料显示，东莞市先飞电子防护技术有限公司，成立于2022年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市先飞电子防护技术有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可9个。

本文源自：金融界

作者：情报员