颀中科技申请晶圆洗边装置及洗边方法专利，一次性可以洗完晶圆较宽的边缘，提高清洗效率

金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，颀中科技（苏州）有限公司、合肥颀中科技股份有限公司申请一项名为“晶圆洗边装置及洗边方法”的专利，公开号CN119890088A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明揭示了一种晶圆洗边装置及洗边方法，晶圆洗边装置包括用于支撑晶圆的晶圆载台、供液装置以及连通供液装置的喷嘴装置，所述供液装置包括两个出液口，所述喷嘴装置包括分别连通两个所述出液口的第一喷嘴口和第二喷嘴口，所述第一喷嘴口具有沿竖直方向正投影于晶圆上的第一投影点，所述第二喷嘴口具有沿竖直方向正投影于晶圆上的第二投影点，所述第一投影点和所述晶圆的圆心之间具有第一距离，所述第二投影点和所述晶圆的圆心之间具有第二距离，所述第一距离小于第二距离。一次性可以洗完晶圆较宽的边缘，提高清洗效率。

天眼查资料显示，颀中科技（苏州）有限公司，成立于2004年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本115114.83155万人民币。通过天眼查大数据分析，颀中科技（苏州）有限公司参与招投标项目109次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息219条，此外企业还拥有行政许可28个。

合肥颀中科技股份有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本118903.7288万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥颀中科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目32次，专利信息148条，此外企业还拥有行政许可18个。

本文源自：金融界

作者：情报员