深圳市星海威取得布气装置及 MOCVD 设备专利，提高垂直布气的均匀性

金融界 2025 年 4 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市星海威真空设备有限公司取得一项名为“一种布气装置及 MOCVD 设备”的专利，授权公告号 CN222795717U，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体生产技术领域，提出一种布气装置及 MOCVD 设备，布气装置包括上盖板、分流板、多个第一气源接头和多个第二气源接头，上盖板上设有多个第一气道和多个第二气道，多个第一气源接头设于上盖板的上侧并分别与多个第一气道连通，多个第二气源接头设于上盖板的上侧并分别与多个第二气道连通；分流板设于上盖板的下侧面，分流板上沿第一方向交替布置有多排第三气道和多排第四气道，多排第三气道分别与多个第一气道连通，多排第四气道分别与多个第二气道连通。上述布气装置可使各排第三气道的流量一致或基本一致，以及各排第四气道的流量一致或基本一致，有利于提高垂直布气的均匀性。

天眼查资料显示，深圳市星海威真空设备有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市星海威真空设备有限公司财产线索方面有商标信息8条，专利信息6条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员