中山市光圣半导体申请晶圆缺陷检测的UV光源精确调控专利，提高晶圆缺陷检测的准确性

金融界2025年5月10日消息，国家知识产权局信息显示，中山市光圣半导体科技有限公司申请一项名为“晶圆缺陷检测的UV光源精确调控方法及相关设备”的专利，公开号CN119946949A，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本申请涉及光源调控技术领域，公开了晶圆缺陷检测的UV光源精确调控方法及相关设备，该方法包括：确定晶圆缺陷检测的初始检测参数；根据初始检测参数获取目标晶圆的晶圆表面图像；识别晶圆表面图像的缺陷信息；根据缺陷信息评估初始检测参数的检测效果值；若检测效果值低于预设检测阈值，则根据缺陷信息生成UV光源调控策略。通过本申请方案的实施，通过获取初始检测参数并评估检测效果值,建立了一个闭环反馈机制，及时发现检测效果不理想的情况，并据此调整UV光源参数，确保缺陷检测始终保持在最佳状态，提高晶圆缺陷检测的准确性。

天眼查资料显示，中山市光圣半导体科技有限公司，成立于2010年，位于中山市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市光圣半导体科技有限公司财产线索方面有商标信息9条，专利信息73条，此外企业还拥有行政许可5个。

本文源自：金融界

作者：情报员