ICT半导体集成电路测试申请表征带电粒子束系统中的检测路径的方法以及带电粒子镜专利，能够精准表征带电粒子束系统中的检测路径

金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，ICT半导体集成电路测试有限公司申请一项名为“表征带电粒子束系统中的检测路径的方法以及带电粒子镜”的专利，公开号CN119901773A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，一种表征具有初级带电粒子束的带电粒子束系统中的检测路径的方法，包括：将具有弯曲等势面的带电粒子镜定位在带电粒子束系统的样品台上；通过使带电粒子镜的相对镜位置变化来使初级带电粒子束在弯曲等势面处的反射角变化，弯曲等势面与带电粒子镜的表面相距一定距离；针对多个相对镜位置记录带电粒子束系统的至少一个检测器的多个检测器信号；其中使带电粒子镜的相对镜位置变化包括使带电粒子镜的镜位置和初级带电粒子束位置中的至少一者在至少一个维度上相对于彼此变化。

本文源自：金融界

作者：情报员