苏州启芯微纳申请流量气体集成传感器专利，能够在一颗芯片上同时实现对流量和气体的同时检测

金融界2025年4月9日消息，国家知识产权局信息显示，苏州启芯微纳科技有限公司申请一项名为“一种流量气体集成传感器及其制作方法”的专利，公开号CN 119779399 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种流量气体集成传感器及其制作方法，其包括：衬底，衬底上设有硅深槽；悬桥，任意的悬桥设置于硅深槽上方，且连接衬底；温度敏感单元连接于悬桥上，气体敏感单元连接于悬桥上，其包括依次连接的绝缘层、金属叉指电极和气体敏感材料层，其中，绝缘层连接于悬桥。本发明通过悬桥将温度敏感单元和气体敏感单元集成在同一衬底上，其能够在一颗芯片上同时实现对流量和气体的同时检测，由此使其兼具小型化、集成化和低功耗的优势，同时可减少后道键合封装流程，进而达到降本增效的目的。相比于现阶段常规集成方式和结构来说，本申请无需通过键合的方式进行封装电连接，由此兼具加工简单、适用范围广、结构稳定以及集成度高等显著优势。

天眼查资料显示，苏州启芯微纳科技有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币，实缴资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州启芯微纳科技有限公司专利信息1条。

本文源自：金融界

作者：情报员