深圳市昇维旭申请用于晶圆传送盒内污染物检测的取样装置专利，能够实现晶圆传送盒内污染物高效检测

金融界 2025 年 5 月 9 日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市昇维旭技术有限公司申请一项名为“一种用于晶圆传送盒内污染物检测的取样装置及取样方法”的专利，公开号 CN119935662A，申请日期为 2025 年 2 月。

专利摘要显示，本申请提供一种用于晶圆传送盒内污染物检测的取样装置，包括：底座，具有至少一个放置位，放置位安装一晶圆传送盒，放置位设有至少一个第一接口和至少一个第二接口，第一接口和第二接口和晶圆传送盒内部连通；至少一条液体输送管路，每个放置位对应一条液体输送管路，液体输送管路连通第一接口；至少一条惰性气体输送管路，每个放置位对应一条惰性气体输送管路，惰性气体输送管路连通第二接口；至少一条气体排出管路，每个放置位对应一条气体排出管路，气体排出管路连通第二接口；至少一条样本输出管路，每个放置位对应一条样本输出管路，同一放置位的样本输出管路与液体输送管路连接同一第一接口或不同的第一接口，样本输出管路还与抽气泵连通。

天眼查资料显示，深圳市昇维旭技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市昇维旭技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息47条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可14个。

本文源自：金融界

作者：情报员