北方集成电路中心取得衬垫和工艺组件专利，改善工艺过程中晶圆不同区域气体流速

金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司取得一项名为“一种衬垫和工艺组件”的专利，授权公告号CN222798128U，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种衬垫，所述工艺腔室设置有排气口，所述排气口与泵体连接，所述衬垫包括：环形主体，所述环形主体包括第一通气区、第二通气区以及第三通气区，所述第一通气区被配置为远离所述排气口，且所述第一通气区设置有第一通气孔；所述第三通气区被配置为朝向所述排气口，且所述第三通气区设置有第三通气孔；所述第二通气区位于所述第一通气区与所述第三通气区之间，且所述第二通气区设置有第二通气孔；其中，所述第一通气孔的总横截面积占所述第一通气孔、所述第二通气孔以及所述第三通气孔总横截面积的35～45％。本申请还提供一种工艺组件。本申请提供的衬垫和工艺组件可以改善工艺过程中晶圆不同区域气体流速。

天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息286条，此外企业还拥有行政许可123个。

本文源自：金融界

作者：情报员